•【3面安装】
业界首创！采用新颖的L型滑台，可三面安装。
设计的自由度得到大幅提高。
•【配管、配线方向位于同一面】
配线、配管整齐。提高了作业效率与可视性。
•【小型、省空间】
与LCR系列相比，宽度方向的尺寸减少了27％，面积减少了20%。
重新调整挡块位置，实现了小型化、省空间化。
•【防坠落型种类扩充】
业界首创！除后端外，前端也采用防坠落机构。
※前端为接单生产品。
•【标配行程调整功能】
挡块有橡胶缓冲型挡块、带橡胶缓冲金属型挡块、缓冲器型挡块3种可选。
•【3面安装】
业界首创！采用新颖的L型滑台，可三面安装。
设计的自由度得到大幅提高。
•【配管、配线方向位于同一面】
配线、配管整齐。提高了作业效率与可视性。
•【小型、省空间】
与LCR系列相比，宽度方向的尺寸减少了27％，面积减少了20%。
重新调整挡块位置，实现了小型化、省空间化。
•【防坠落型种类扩充】
业界首创！除后端外，前端也采用防坠落机构。
※前端为接单生产品。
•【标配行程调整功能】
挡块有橡胶缓冲型挡块、带橡胶缓冲金属型挡块、缓冲器型挡块3种可选。
| 型号 | 名称 | 缸径（mm） | 标准行程(mm) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| LCW | 双作用·单活塞杆型 | Φ12, Φ16, Φ20 | 30, 50, 75 | |
| LCW-Q | 双作用・防坠落型 | Φ12, Φ16, Φ20 | 30, 50, 75 |
半导体制造工序（后工序）
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