每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】
•【小形化】
直接安装时高34mm。
DIN导轨安装时高39mm。
也可安装在狭窄空间。
•【可面板安装】
进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
•【扁平电缆、D-Sub接插件】
接插件的取出方向可从上方、横向中选择。
•【小形化】
直接安装时高34mm。
DIN导轨安装时高39mm。
也可安装在狭窄空间。
•【可面板安装】
进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
•【扁平电缆、D-Sub接插件】
接插件的取出方向可从上方、横向中选择。
| 型号 | 名称 | 安装方式 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| N3Q0660 | 阀模块单体 | DIN导轨安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
| MN3Q0660 | 模块集成阀 | DIN导轨安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
| MT3Q0660 | 模块集成阀 | 直接安装方式 | 快插接头Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 |
半导体制造工序（前工序）
化学液体供给设备用元件
化学气体供给设备用元件
氮气清洗关联元件
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