以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
•【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合，可调节为最佳滴液状态。
•【动作原理】
要流入流体时，事先对控制气口施加气压，降下膜片。
阻止流体时，如果向大气排放控制气口的空气，膜片在弹簧力的作用下上升，吸油阀内的容积增大，从而防止流体滴落。
•【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合，可调节为最佳滴液状态。
•【动作原理】
要流入流体时，事先对控制气口施加气压，降下膜片。
阻止流体时，如果向大气排放控制气口的空气，膜片在弹簧力的作用下上升，吸油阀内的容积增大，从而防止流体滴落。
| 型号 | 名称 | 回吸量 | 连接尺寸(配管外径・螺纹直径) | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| AMSZ2 | 小口径 | 0.04 cm3 | 1/8”, 3 mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc | |
| AMS022 | 中口径 | 0.12 cm3 | 1/8”, 1/4”, 6 mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC, Rc |
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