以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。
•【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合，可调节为最佳滴液状态。
气控阀・回吸一体型。
•【防止液体滴落】
与微速型速度控制器组合，可调节为最佳滴液状态。
气控阀・回吸一体型。
| 型号 | 名称 | 最大回吸量 | 连接尺寸(配管外径・螺纹直径) | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| AMDSZ0 | 小口径 | 0.04 cm3 | 1/8”, 3 mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60 | |
| AMDS00 | 中口径 | 0.12 cm3 | 1/8”, 1/4”, 6 mm, 6.35mm | SUPER型, SUPER 300, F-LOCK20/60, FINAL LOCK, FLARTEC |
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