CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。
•【高密封性】
有助于工艺稳定化
阀座部的优化设计和超精密加工
最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）
•【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
阀座部形状的优化设计
微小流量下也可稳定控制
•【减少迟滞】
安全满足目标压力
采用高品质材料
超精密加工
•【高密封性】
有助于工艺稳定化
阀座部的优化设计和超精密加工
最大限度抑制阀闭动作时的2次侧泄漏（流出）
•【高微小流量控制性】
实现稳定且平稳的动作
阀座部形状的优化设计
微小流量下也可稳定控制
•【减少迟滞】
安全满足目标压力
采用高品质材料
超精密加工
| 型号 | 名称 | 流量 | 2次侧设定压力 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| PGM-30V | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | -0.07～0.21Mpa | |
| PGM-30 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.21Mpa | |
| PGM-50 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.35Mpa | |
| PGM-100 | 工艺气体用减压阀 | 20ℓ/min | 0～0.7Mpa | |
| PGM-H-60 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.42Mpa | |
| PGM-H-100 | 工艺气体用减压阀 | 50ℓ/min | 0～0.7Mpa | |
| PGM-2H-30V | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | -0.07～0.21Mpa | |
| PGM-2H-30 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.21Mpa | |
| PGM-2H-60 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.42Mpa | |
| PGM-2H-100 | 工艺气体用减压阀 | 200L/min | 0～0.7Mpa |
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