最适用于大流量控制的真空发生器单元。
【喷嘴直径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0 (㎜)
【吸入流量】24～180 (L/min(ANR))
•【大流量】
最适用于大流量控制的31.5mm宽真空单元。
•【适应不同使用方法的喷嘴类型】
备有单喷嘴型、两段喷嘴型、双喷嘴型3个种类。
两段喷嘴型：吸入流量比单喷嘴型增加了40％。
双喷嘴型：可高速上升至基准真空压力的同时，大幅减少了搬送时的耗气量。
•【大流量】
最适用于大流量控制的31.5mm宽真空单元。
•【适应不同使用方法的喷嘴类型】
备有单喷嘴型、两段喷嘴型、双喷嘴型3个种类。
两段喷嘴型：吸入流量比单喷嘴型增加了40％。
双喷嘴型：可高速上升至基准真空压力的同时，大幅减少了搬送时的耗气量。
| 型号 | 名称 | 喷嘴直径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| VSQ-H | 高真空・中流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-L | 中真空・大流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-E | 高真空・小流量型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-T | 双喷嘴型 | Φ1.5, Φ2.0 | |
| VSQ-D | 两段喷嘴型 | Φ0.7, Φ1.0, Φ1.2 |
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