小型、轻量，尤其实现了高度尺寸紧凑化的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】0.4 (㎟)
•【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
•【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜sec以下)
•【备有4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
•【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
•【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜sec以下)
•【备有4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
| 型号 | 名称 | 使用压力(MPa) | 真空阀有效截面积(㎟) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| VSNP | 单品 | 0.3～0.7 | 0.4 | |
| VSNPM | 集成阀 | 0.3～0.7 | 0.4 |
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