可根据电流成比例进行流量控制的比例电磁阀。
10mm宽的超小型、静音设计。可有效节省装置的空间。
•【超小形】
线圈宽度10mm。
可安装在控制对象附近。
•【流量调节范围：0～9L/min】
可进行微小流量的比例控制。
※迟滞量
DC12V:10%
24V:20%
•【半导体前工序】
可在要求元件省空间性的半导体绝缘涂布工序等中使用。
•【超小形】
线圈宽度10mm。
可安装在控制对象附近。
•【流量调节范围：0～9L/min】
可进行微小流量的比例控制。
※迟滞量
DC12V:10%
24V:20%
•【半导体前工序】
可在要求元件省空间性的半导体绝缘涂布工序等中使用。
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 3QB11OP | 单体阀【特殊规格产品】 | M5, Φ4卡套接头 | |
| M3QB11OP | 个别配线集成阀 【特殊规格产品】 | M5, Φ4卡套接头 |
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