采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。
•【标准型】
耐久性：100万次（实测值400万次）
适用于集成化供气系统（1.5inch, 1.125inch）
•【内部密封性能大幅提升】
通过最佳密封结构和表面精度的提高，减少颗粒的产生。
•【标准型】
耐久性：100万次（实测值400万次）
适用于集成化供气系统（1.5inch, 1.125inch）
•【内部密封性能大幅提升】
通过最佳密封结构和表面精度的提高，减少颗粒的产生。
| 型号 | 名称 | 配管方式 | 动作方式 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| AGD0※R-4RM | 工艺气体用气控阀 | 1/4”JXR公接头 | NC型, NO型 | |
| AGD0※R-4R | 工艺气体用气控阀 | 1/4”JXR母接头 | NC型, NO型 | |
| AGD1※R-4RM | 工艺气体用气控阀 | 1/4”JXR公接头 | NC型, NO型 | |
| AGD1※R-4R | 工艺气体用气控阀 | 1/4”JXR母接头 | NC型, NO型 | |
| AGD1※R-4S | 工艺气体用气控阀 | 1/4”双卡套接头 | NC型, NO型 | |
| AGD2※R-6RM | 工艺气体用气控阀 | 3/8”JXR公接头 | NC型, NO型 | |
| AGD2※R-6R | 工艺气体用气控阀 | 3/8”JXR母接头 | NC型, NO型 | |
| AGD2※R-6S | 工艺气体用气控阀 | 3/8”双卡套接头 | NC型, NO型 |
化学气体供给设备用元件
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半导体制造工序（前工序）
氮气清洗关联元件
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