•【可进行缓慢排气控制】
与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比，实现了固定比率的缓慢排气。
•【新增压力控制功能】
以可靠性高的真空阀为基础，增加压力控制功能。
真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。
通过采用截止阀方式，以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。
•【维护简便】
阀和电装部可分别维护。
•【可进行缓慢排气控制】
与通常的ON/OFF真空阀和两段排气真空阀相比，实现了固定比率的缓慢排气。
•【新增压力控制功能】
以可靠性高的真空阀为基础，增加压力控制功能。
真空时的压力调节无需减压阀和可变漏阀。
通过采用截止阀方式，以O形圈密封结构实现了蝶阀不擅长的全闭动作。
•【维护简便】
阀和电装部可分别维护。
| 型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|
| IAVB※17 | 真空压力控制系统 | NW16, 25, 40, 50 | |
| IAVB-CONT | IAVB用控制器 | - |
半导体制造工序（前工序）
半导体制造工序（后工序）
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