•【长寿命、高耐久】（Part 7系列）
采用独有结构，实现了长寿命并且提高了易用性的标准型产品。耐久性超群，实效值达300万次（在本公司规定条件下）。
•【设置及配管自由度更高】（Part 7系列）
控制气口可选择4个方向的任意位置。
4面均可安装用于检测动作位置的超小型开关。
•【长寿命、低发尘】（Part 3系列）
通过阀一体成型法使流路呈流线形，表面更顺滑。
长寿命成型波纹管。
SUS阀体型。
| 型号 | 名称 | 配管方式 | 动作方式 | 阀体 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| AVB※17 | 成型波纹管方式 | NW16, 25, 40, 50, 63, 80 | NC型 | 铝阀体 | |
| AVB※47 | 成型波纹管方式 | NW25, 40, 50, 63 | 两段型 | 铝阀体 | |
| AVB※37 | 成型波纹管方式 | NW16, 25, 40, 50, 63, 80, 100 | 双作用型 | 铝阀体 | |
| AVB※13 | 成型波纹管方式 | NW25, 40, 50, 80 | NC型 | 不锈钢阀体 | |
| AVB※23 | 成型波纹管方式 | NW25, 40, 50, 80 | NO型 | 不锈钢阀体 | |
| AVB※33 | 成型波纹管方式 | NW25, 40, 50, 80 | 双作用型 | 不锈钢阀体 |
半导体制造工序（前工序）
半导体制造工序（后工序）
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