•【无需配管的单元类型】
配管时只需插入气管。
可大幅降低组装工时，且紧凑、省空间。
订购时的型号管理也非常轻松。
•【全禁油规格】
对所有流体通路部分进行脱脂清洗，在洁净室内完成组装至包装的一条线生产。
•【铝材本体，高刚性】
本体全部采用铝制材质，刚性高。（过滤器除外）
备有双系统类型，扩展了气体供给方式的种类。
•【最适用于液晶行业】
主要用于负离子而开发的单元，最适用于液晶行业。
除此之外，也可用于汽车零件、食品、医药产品等领域。
•【无需配管的单元类型】
配管时只需插入气管。
可大幅降低组装工时，且紧凑、省空间。
订购时的型号管理也非常轻松。
•【全禁油规格】
对所有流体通路部分进行脱脂清洗，在洁净室内完成组装至包装的一条线生产。
•【铝材本体，高刚性】
本体全部采用铝制材质，刚性高。（过滤器除外）
备有双系统类型，扩展了气体供给方式的种类。
•【最适用于液晶行业】
主要用于负离子而开发的单元，最适用于液晶行业。
除此之外，也可用于汽车零件、食品、医药产品等领域。
| 型号 | 名称 | 配管口径 | 最高使用压力（MPa） | 设定压力范围(MPa) | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| CAU30 | 洁净气体单元 | φ10, φ12 | 0.7 | 0.05~0.6 |
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