可实现非接触上浮搬运的浮板。
根据不同的用途，有5种上浮导轨和上浮盘可供选择。
•【非接触上浮搬运】
通过采用新型多孔材料，实现了稳定的上浮。
不用接触工件即可顺畅搬运，且可防止工件带电。
•【可视性提高】
通过采用黑色本体，无散射，提高了工件的可视性。
最适用于高灵敏度检查。
抑制了上浮空气的颗粒。
•【根据用途选择】
可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途，自由选择上浮导轨和上浮盘。
•【非接触上浮搬运】
通过采用新型多孔材料，实现了稳定的上浮。
不用接触工件即可顺畅搬运，且可防止工件带电。
•【可视性提高】
通过采用黑色本体，无散射，提高了工件的可视性。
最适用于高灵敏度检查。
抑制了上浮空气的颗粒。
•【根据用途选择】
可根据精密上浮、玻璃面板搬运、制程工序的装载等用途，自由选择上浮导轨和上浮盘。
| 型号 | 名称 | 上浮量（参考） | 主要用途 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| GFM-A | 校准上浮盘 | 10μm以上 | 定位 | |
| GFM-T | 高上浮导轨 | 250μm以上 | 玻璃面板搬运 | |
| GFM-RF | 上浮导轨 | 250μm以上 | 搬运 | |
| GFM-RS | 上浮导轨 | 150μm以上 | 装载・卸载 | |
| GFM-P | 精密上浮台 | 30μm以上 | 各种工序 |
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