实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5
•【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
•【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
•【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
•【小型、轻量】
最适用于安装空间有限的客户。
产品高度紧凑化。
•【高速且稳定的响应性】
主阀采用直动阀，实现高速且稳定的响应性。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)
•【4种压力传感器】
压力传感器备有4种模拟输出类型。
| 型号 | 名称 | 喷嘴直径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| VSN-H | 单品型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSN-E | 单品型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-H | 集成型・高真空・中流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-E | 集成型・高真空・小流量型 | Φ0.4, Φ0.5, Φ0.6 | |
| VSNM-Z | 集成型・混合规格 | - |
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