10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装的真空发生器单元。
【喷嘴直径】0.5, 0.7, 1.0 (㎜)
【吸入流量】3～26 (L/min(ANR))
•【大幅缩短真空破坏时间】
真空发生阀备有常闭型及可省电的自保持型。
所有阀均具有极高的响应性，实现了真空系统的高循环化。
•【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型，以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
•【大幅缩短真空破坏时间】
真空发生阀备有常闭型及可省电的自保持型。
所有阀均具有极高的响应性，实现了真空系统的高循环化。
•【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型，以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
| 型号 | 名称 | 喷嘴直径 | 备注 |
|---|---|---|---|
| VSX-H | 单品型・高真空・中流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSX-L | 单品型・中真空・大流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSX-E | 单品型・高真空・小流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-H | 集成型・高真空・中流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-L | 集成型・中真空・大流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-E | 集成型・高真空・小流量型 | Φ0.5, Φ0.7, Φ1.0 | |
| VSXM-Z | 集成型・混合规格 | - |
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