10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】
2通阀规格：3.5, 4.5 (㎟)
3通阀规格：3.0, 3.6 (㎟)
•【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型，以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
•【大幅缩短真空破坏时间】
3通阀规格采用3通规格真空供给用主阀，大幅缩短了从真空到大气压的所需时间（真空破坏时间）。
•【轻量、紧凑】
10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装。
固定方法分为从侧面使用螺钉等固定的直接固定型，以及可安装在DIN导轨上的DIN导轨安装型。
•【大幅缩短真空破坏时间】
3通阀规格采用3通规格真空供给用主阀，大幅缩短了从真空到大气压的所需时间（真空破坏时间）。
| 型号 | 名称 | 使用压力(MPa) | 真空阀有效截面积(㎟) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| VSXP-D | 单品・2通 | 0.3～0.7 | 3.5, 4.5 | |
| VSXP-T | 单品・3通 | 0.3～0.7 | 3.5, 4.5 | |
| VSXPM-D | 集成阀・2通 | 0.3～0.7 | 3.0, 3.6 | |
| VSXPM-T | 集成阀・3通 | 0.3～0.7 | 3.0, 3.6 | |
| VSXPM-Z | 集成阀・混合规格 | 0.3～0.7 | - |
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