小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空切换单元。
可省配线的集成真空切换单元。
阀功耗为0.55W，也可选择自保持型，适用于节能。
【真空阀有效截面积】4.5(㎟)
•【省配线】
统一集中了集成时的供给阀、破坏阀的配线。
备有扁平电缆、D-Sub接插件规格。
•【节能】
阀功耗0.55W。
需长时间保持真空时，使用无需连续通电的自保持型可实现省电。
•【真空用压力开关种类丰富】
真空用压力开关的种类丰富，适用于多种用途。
•【省配线】
统一集中了集成时的供给阀、破坏阀的配线。
备有扁平电缆、D-Sub接插件规格。
•【节能】
阀功耗0.55W。
需长时间保持真空时，使用无需连续通电的自保持型可实现省电。
•【真空用压力开关种类丰富】
真空用压力开关的种类丰富，适用于多种用途。
| 型号 | 名称 | 使用压力(MPa) | 真空阀有效截面积(㎟) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| VSZPM | 集成阀 | 0.3～0.7 | 4.5 |
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