【NEW】追加对应马达
将精密缓冲器和马达一体化，进行旋转定位和缓冲动作。
•【NEW：追加对应马达】
追加配备了无电池绝对式传感器的马达。 无传感器支架，也可掌握原点位置。
•【软触摸/低发尘/长寿命】
采用磁弹簧缓冲机构。不论行程，按压恒定。另外，没有金属接触，实现低尘且长寿。
•【转动精度0.01㎜以下】
内置球杆实现旋转精度0.01㎜以下。
•【简易配管】
可以从阀体前面真空配管，使用简单。
•【省空间】
宽度间距20㎜。可组装小型集成阀。
•【防止脱节】
采用轴承和导向沟的止回机构。抑制高精度轴振动，实现高回归位置精度。
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