•光滑、无阻碍的流径，可进行全面的吹扫

•采用无弹簧和无螺纹结构，可进一步减少颗粒的产生

•带有可定位阀帽的完全关闭密封件

•膜片与阀体密封件之间采用金属对金属设计，提供一流的密封性

•符合 SEMI F19、UHP 等级要求

额定压力

最大入口压力：10.3 或 17.2bar/150 或 250psig
出口压力范围：0-2.1、0-4.1、0-6.9bar/0-30、0-60、0-100psig

材质

阀体：经电解抛光的 316L VAR 不锈钢
阀座：Teflon® 或 PCTFE
膜片和阀杆：316L 不锈钢
密封和其他部件：316 不锈钢

工作温度

Teflon® 阀座：-40°C 至 71°C/-40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C/-40°F 至 140°F

端孔尺寸和类型

入口和出口：1/4 MVCR、固定式、1/2 FVCR、1/2 MVCR、1/2 管接口、3/4 管接口
压力表接口：1/4 HPIC、1/4 FVCR、1/4 MVCR、固定式、1/4 MVCR、旋转式

流通能力：Cv = 1.8

重量：1.5kg/3.2lb

其他信息：如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系我们。