专为处理高纯度大宗特种气体输送系统的需求而设计
该产品采用成熟的设计、提供超高的出口压力范围，并配备气密性切断阀和标准的 Hastelloy® 阀内件，能够全面满足减压阀应用的苛刻需求
采用金属对金属密封膜片
Cv = 1.0，接液部件表面光洁度达 10 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
专为处理高纯度大宗特种气体输送系统的需求而设计
该产品采用成熟的设计、提供超高的出口压力范围，并配备气密性切断阀和标准的 Hastelloy® 阀内件，能够全面满足减压阀应用的苛刻需求
采用金属对金属密封膜片
Cv = 1.0，接液部件表面光洁度达 10 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
额定压力
最大入口压力：103bar/1500psig
出口压力范围：1.7-27.6bar/25-400psig
材质
阀体：316L VAR 不锈钢
膜片：Elgiloy®
阀座：PCTFE
阀内件：Hastelloy®
阀门：Hastelloy®
工作温度
-40°C 至 60°C/-40°F 至 140°F
端孔尺寸和类型
1/4 外螺纹旋转接口（高流量）
1/4 内螺纹旋转接口（高流量）
1/2 外螺纹旋转接口
1/2 内螺纹旋转接口
1/2 管接口
流通能力
Cv = 1.0
重量
1.6kg/3.5lb
其他信息
如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系您当地的销售办事处。
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