•内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米

•阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性

•内部经全面电解抛光处理

•旨在减少半导体气体系统中的压力波动

•满足严苛的半导体行业的使用点和

•气瓶应用要求

额定压力

最大进口压力：600 或 3500psig/41.4 或 241bar
出口压力范围：30、60、100、150psig/2.1、4.1、6.9、10.3bar

阀体材质

经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢

膜片

Hastelloy®

阀座

PCTFE、PTFE PFA® 或 Vespel®

阀杆和阀弹簧

316 不锈钢

其他部件

316 不锈钢或 Hastelloy®

工作温度

Teflon® PFA 阀座：-40 至 160°F/-40 至 71°C
Vespel® 阀座：-40 至 350°F/-40 至 177°C
PCTFE 阀座：-40 至 140°F/-40 至 60°C

端口尺寸和类型

1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头

流通能力：Cv = 0.15 或 0.06

重量：0.9kg/2lb

其他信息：如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系我们。