•适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

•高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能

•在广泛应用中提供优越性能

•流量：2SCFM 至 120SLPM

•在微型元件中提供出色的压降和重复性

•膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现一流的密封性

•内部表面光洁度为 10Ra 或 5Ra 微英寸

•符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

额定压力

最大入口压力：
150psig/10.3bar
最大出口压力：
250mm Hg-15psig/250mm Hg-1.0bar
0-30、0-60、0-100psig/0-2.1、0-4.1、0-6.9bar

材质

阀体：316L VAR 不锈钢
阀膜：Hastelloy®
阀座：PCTFE
阀杆：Hastelloy®
其他部件材质：316L VAR 不锈钢

工作温度

-40°C 至 60°C/-40°F 至 140°F

连接

焊接接头：1/4 VCR® 或管接头
表面安装：1.125 或 1.50 占用空间

流通能力

标准：Cv = 0.04
高流量：Cv = 0.08

重量

VCR®、IGS：0.60lb/0.3kg
A 型：1.08lb/0.5kg

其他信息：如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系我们。