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调压阀
TESCOM™ 10-X 系列免提升阀调压器
10-X 系列是一种微型超高纯度和精度的工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。10-X 系列采用 10 Ra 微英寸表面处理、免提升阀设计和 316 不锈钢 VAR 阀体材料。其进口压力为 150 psig/10.3 bar，出口压力为 3-30、60 psig / 0.21-2.1、4.1 bar，流速可达 100 SLPM。非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。
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特点和优点

•适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

•高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能

•在广泛应用中提供优越性能

•流量：2 SLPM 至 120 SLPM

•在微型元件中提供出色的压降和重复性

•膜片与阀体之间采用金属对金属设计，实现一流的密封性

•内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸

•符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

•默认为哈氏合金膜片

•内体积小


规格参数

额定压力

最大入口压力： 150 psig / 10.3 bar
最大出口压力： 3-30、3-60、0-100 psig / 0.21-2.1、0.21-4.1 bar

材料

阀体： 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
膜片： HASTELLOY®
阀座： PCTFE 或 PTFE
阀杆： HASTELLOY®
弹簧： 316 不锈钢或 Inconel®
其他材料： 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢

工作温度

-40°C 至 60°C（-40°F 至 140°F）

连接件

焊接接头：1/4 VCR® 或管接头
表面安装：1.125 或 1.50 占用空间

流通能力

标准： Cv = 0.06
高流量： Cv = 0.1

重量

VCR®，IGS：0.60 lb / 0.3 kg

其他信息：如需获得定制型号或完整的系统解决方案，请联系我们。


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