传感器
CKD气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW® 型号 FSM
是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应,最适合电子部件等的吸附确认。
特点和优点

【超小型、轻量】(FSM-X系列)

通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、最薄8mm。

产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。



【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提高了低流量领域的分辨率。



【高速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计


【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,最适合吸附确认用途。



配置
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