薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。
本体采用黑色为标准。通过抑制光的反射，提高图像检查时的稳定性。
提供黑色钢制传送带的选项。
与以往产品相比，实现了薄型及轻量化。本体高度最多降低33%，本体重量最多降低30%。
可对搬送轴进行组合优化。
相对于以往产品，在保持薄型本体的同时，扩大了对应行程。
本体采用黑色为标准。通过抑制光的反射，提高图像检查时的稳定性。
提供黑色钢制传送带的选项。
与以往产品相比，实现了薄型及轻量化。本体高度最多降低33%，本体重量最多降低30%。
可对搬送轴进行组合优化。
| 型号 | 名称 | 最大可搬送重量 | 最大行程 | 重复精度 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| EFS-05 | 电动执行器 滑块型【特殊规格产品】 | 30㎏（水平）10㎏（垂直） | 1,000㎜ | ±0.01㎜ | |
| EFS-08 | 电动执行器 滑块型【特殊规格产品】 | 30㎏（水平）10㎏（垂直） | 1,250㎜ | ±0.01㎜ |
检查
移载
安装
搬运
半导体制造工序（后工序）
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