最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】 : 16.5 (㎟)
•【大流量】
最适用于大流量控制的31.5mm宽真空单元。
真空供给阀备有常开型和常闭型。
| 型号 | 名称 | 使用压力(MPa) | 真空阀有效截面积(㎟) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| VSQP | 単体 | 0.3～0.7 | 16.5 |
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