可去除吸气时一起被吸入的灰尘及水分，保护真空泵及产生器。根据用途的不同，备有对应各种真空配管的过滤器。
【配管口径】管接头型:M3,M5,Φ1.8, Φ4, Φ6, Φ8, Φ10, Φ12
插座型:Φ4, Φ6
•【大容量】（VSFB系列）
通过旋流效果和滤芯去除真空发生器吸入的灰尘和水滴。
集尘盒较大，因此维护次数减少。
•【维护性】（VSFB系列）
整个集尘盒一按即可拆下，维护时灰尘不会逸散。
•【高循环适用】（VSFU系列）
最适用于要求真空系统高循环化的领域。
•【小型、轻量】（VSFJ系列）
本体与针阀一体化且使用树脂部材，实现了小型、轻量化。
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